江苏大学学报(自然科学版)

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国内刊号:32-1668/N

国际刊号:1671-7775

江苏大学学报(自然科学版)杂志2024年第3期:退火处理对CVD生长石墨烯薄膜功函数的影响

发布日期:

作者:姜燕,程振华,宋娟

单位:江苏大学 材料科学与工程学院, 江苏 镇江 212013

关键词:石墨烯, 功函数, 原子力显微镜, 退火, 表面接触电势差, 化学气相沉积法

基金:国家自然科学基金资助项目(11974147)

通过退火处理去除了石墨烯薄膜上的吸附气体和杂质,改变了石墨烯表面吸附情况.利用原子力显微镜和开尔文扫描探针显微镜,对退火处理前后的石墨烯薄膜表面进行了原位扫描,分别得到其退火前、后的表面形貌和表面接触电势差图.根据表面接触电势差测量结果进一步计算其功函数,并对退火处理导致的功函数变化机理进行分析.结果表明:退火处理使得石墨烯薄膜与SiO2衬底间的水分子层逸出,从而导致石墨烯薄膜与SiO2衬底间距减小,降低了石墨烯薄膜的P型掺杂水平,使得费米能级上升、石墨烯薄膜功函数减小.

来源:2024年第3期

《江苏大学学报(自然科学版)》期刊编辑部

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